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探討超凈工作臺的結(jié)構(gòu)及如何空氣凈化

更新時間:2016-05-14  |  點(diǎn)擊率:2578

空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境首先被航空航天工業(yè)使用。即使一個極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤,因此,NASA(美國航空航天中心)和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間。而且*了許多基本的污染控制理念,其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后,很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺法。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上,并使用無脫落的物質(zhì)。在工作臺以外,晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運(yùn)輸。
在大型車間中按順序排列的工作臺(叫做工作層流罩)組成加工區(qū),使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種顆粒搜集過濾器(HEPA過濾器)。這些過濾器是由含許多小孔,并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成,由于高密度的小孔與大面積的過濾層,使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流,有利于工作臺的潔凈度,并且對于操作員而言,在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率,并可用于三種凈化方法中。
一般來說,HEPA過濾器裝于超凈工作臺頂部??諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過前置過濾器,再通過HEPA過濾器,并以均勻平行的方式流出,在工作臺表面改變方向,流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向,通常這種方式稱為空氣層流立式式工作臺,它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部,這種方式被稱為空氣層流平行式工作臺。

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